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SMC¹ýÂËÆ÷ºÍ¹ýÂËоÁ½¸öÓÐÐ©Ê²Ã´Çø±ð
¸üÐÂʱ¼ä£º 2017-08-01¡¡¡¡µã»÷´ÎÊý£º 1906´ÎSMC¹ýÂËÆ÷ºÍ¹ýÂËоÁ½¸öÓÐÐ©Ê²Ã´Çø±ð
SMC¹ýÂËÆ÷¶ÔÔڽྻÊÒ¼°Êܿػ·¾³ÖÐÒѰ²×°ºÃÁ˵ĹýÂËÆ÷½øÐÐɨÃè¼ì©¼´ÏÖ³¡¼ì©(³é¼ì»òÈ«¼ì),ÕâÊǹýÈ¥ÃÀÁª°î±ê×¼209¡¢ÃÀ¹ú*¼¼ÊõÌõÁî203ºÍÃÀ¹úº½ÌìÓîÖæ¾ÖµÄNASA±ê×¼ÒÔ¼°ÏÖÔÚµÄISO±ê×¼¶¼¹æ¶¨Á˵Ä,ÎÒ¹úÓйرê×¼Ò²²»ÀýÍâ¡£
SMC¹ýÂËÆ÷²»Í¬µÄÊÇ,¹ýÈ¥¹úÍâ±ê×¼¶¼¹æ¶¨Óùâ¶È¼Æ·½·¨È˹¤·¢³¾(DOP)À´¼ì©,¶øµ±ÏÂÓÎŨ¶È¹ýÉÏÓÎŨ¶È10-4ʱ¼´ÎªÂ©,¶ÔÓÚºóÀ´µÄ¹ýÂËÆ÷ÕâÒ»ÊýÖµÏÔÈ»ÊDz»ÊÊÓõġ£¶øÎÒ¹ú±ê×¼JGJ 71-90¡¶½à¾»ÊÒÊ©¹¤¼°ÑéÊչ淶¡·(ÒÔϼò³Æ“¹æ·¶”),¸ù¾ÝÀíÂÛÑо¿³É¹û[1],ÔÚ¹úÄÚÍâÃ÷È·¹æ¶¨ÓÃÁ£×Ó¼ÆÊýÆ÷·¨¼ì©,¿ÉÒÔÓÃ´óÆø³¾,±ØÒªÊ±ÓÃDOP¡£
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(1) SMC¹ýÂËÆ÷ϵͳ¼ì©,¼´¶Ô0·3μmµ¥·ÖÉ¢ÆøÈܽºÐ§Âʲ»´óÓÚ99·995%µÄ¹ýÂËÆ÷(Ï൱ÓÚÎÒ¹úB~CÀà¹ýÂËÆ÷);
(2) DOP¹â¶È¼Æ·¨Ö»ÊÊÓÃÓÚµ±³Á»ýÔÚ¹ýÂËÆ÷ºÍ¹ÜµÀÉϵĻӷ¢ÐÔÓлú²âÊÔÆøÈܽºÊͷųöµÄÆøÌå¶Ô½à¾»ÊÒÄڵIJúÆ·»ò¹¤ÒÕ²»ÊÇÓꦵÄ,ÈçºËÉèÊ©µÄ¹ýÂËÆ÷¼ì©;
(3)È˹¤ÆøÈܽºµÄÁ£×Ó¼ÆÊýÆ÷·¨ÊÊÓÃÓÚ¹ýÂËÆ÷͸¹ýÂÊ≤0·0000005%µÄ¼ì©,¼´Ð§ÂÊ≥99·9999995% (°´Îª¶Ô0·3μm΢Á£)¹ýÂËÆ÷¼ì©;
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